超精密加工技術
采用目前制造領域最高精度的超精密數控機床,利用天然單晶金剛石刀具,可實現三維復雜曲面的超精密一次成型加工,精度高、穩定性好,表面粗糙度高達3nm,可對鋁、銅、鎳、金、鍺、硒化鋅、硫化鋅、樹脂(如PMMA)等材料進行加工,具備制造各種平面反射鏡、球面反射鏡、凹/凸非球面反射鏡、離軸非球面反射鏡、非球面陣列反射鏡、菲涅爾反射鏡,微溝槽陣列和多面棱鏡等各種超精密核心關鍵件,以及各種尺寸的光學玻璃模壓和注塑用模具的加工能力。
應用范圍:
1、可對鋁、銅、鎳、金、高分子材料(如:PMMA)、WC等材料進行超精密加工,也可對鍺、硒化鋅、硫化鋅、SiC等脆性材料進行納米量級切削;
2、可用來制造航空航天精密軸承、曲面鏡等核心關鍵件;
3、可用于制造微電子領域極紫外光刻裝備所需的離軸非球面物鏡等核心關鍵件;
4、可用于制造激光、紅外光學系統的雙錐透鏡、光束整形組合反射鏡等;
5、可用于制造光學透鏡、反射鏡、棱鏡、相位板和光學模具;
6、可對平面、球面及非球面等進行超精密加工;
7、通過有效手段可以實現WC等硬材料加工。
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